广东中科半导体微纳制造技术研究院为中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所与佛山市人民政府、佛山市南海区人民政府签署共建的广东省省属科研事业单位，一期投入运营资金12亿元，占地100亩，一期建设35000平方米科研及办公场地，建有洁净实验室23000平米，二期规划建设12万平米专业化半导体产业载体。研究院立足佛山，面向广东、辐射整个粤港澳大湾区，打造服务于半导体产业的高水平技术研发平台及公共服务平台，目标建成产业技术源头创新基地、高技术成果转移转化基地，形成“研发平台+公共服务平台+产业孵化载体+产业加速载体+专业基金+品牌活动”的半导体产业发展生态圈。 研究院作为中科院苏州纳米所在粤港澳大湾区的重大布局，将充分发挥中科院苏州纳米所学科优势，转化落地一批产业化基础的优势科研成果，进一步开展工程化、系统化开发。主要针对光电子器件、功率器件、MEMS器件、Micro-LED等多种半导体器件，面向企业、高校、科研院所，开展GaN外延材料生长、芯片加工、器件测试、器件封装等全流程研发、中试及封装测试服务，具备8英寸硅晶圆及8英寸硅基氮化镓（GaN）晶圆加工能力，并兼容2英寸、4英寸、6英寸加工尺寸晶圆。